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      上海瑞敖紳進出口有限公司

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      全自動型原子力顯微鏡 AFM5500M

      產品詳情

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      全自動型原子力顯微鏡 AFM5500M

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      產品描述
      參數

      AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,激光對中,測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察?分析。

      特點

      1. 自動化功能

      ? 高度集成自動化功能追求高效率檢測

      ? 降低檢測中的人為操作誤差

      4英寸自動馬達臺 自動更換懸臂功能

       

      2. 可靠性

      排除機械原因造成的誤差

      ? 大范圍水平掃描

      采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運動所產生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是,用軟件校正方式不能完全消除掃描器圓弧運動的影響,圖片上經常發生扭曲效果。

      AFM5500M搭載了最新研發的水平掃描器,可實現不受圓弧運動影響的準確測試。

      Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

      ? 高精角度測量

      普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時候,會發生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產生形貌誤差的直接原因。

      AFM5500M中搭載的全新掃描器,在豎直方向上不會發生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

      Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

      * 使用AFM5100N(開環控制)時

       

      3. 融合性

      親密融合其他檢測分析方式

      通過SEM-AFM的共享坐標樣品臺,可實現在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌,結構,成分,物理特性等。

      SEM-AFM在同一視野觀察實例(樣品:石墨烯/SiO2)

      The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.

      上圖是AFM5500M拍攝的形狀像(AFM像)和電位像(KFM像)分別和SEM圖像疊加的應用數據。

      ? 通過分析AFM圖像可以判斷,SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。

      ? 石墨烯層數不同導致表面電位(功函數)的反差。

      ? SEM圖像對比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。

      今后計劃與其他顯微鏡以及分析儀器的聯用。

       

      特點

      AFM5500M 主機

      馬達臺 自動精密馬達臺
      最大觀察范圍:100 mm (4英寸)全域
      馬達臺移動范圍:XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
      最小步距:XY 2 μm、Z 0.04  μm
      最大樣品尺寸 直徑:100 mm(4英寸)、厚度:20 mm
      樣品重量:2 kg
      掃描范圍 200 μm x 200 μm x 15 μm (XY:閉環控制 / Z:感應器監控)
      RMS噪音水平* 0.04 nm 以下(高分辨率模式)
      復位精度* XY: ≤15 nm(3σ、計量10  μm的標準間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計量100 nm 的標準深度)
      XY直角度 ±0.5°
      BOW* 2 nm/50 μm 以下
      檢測方式 激光檢測(低干涉光學系統)
      光學顯微鏡 放大倍率:x1 ~ x7
      視野范圍:910 μm x 650 μm ~ 130 μm x 90 μm
      顯示倍率:x465 ~ x3,255(27英寸顯示器)
      減震臺 臺式主動減震臺 500 mm(W) x 600 mm (D) x 84 mm (H)、約28 kg
      防音罩 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg
      大小?重量 400 mm(W) x 526 mm(D) x 550 mm(H)、約 90 kg

      * 參數與設備配置及放置環境相關。

      AFM5500M 專用原子力顯微鏡工作站

      OS Windows7
      RealTune?II 自動調節懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號反饋
      操作畫面 操作導航功能、多窗口顯示功能(測試/分析)、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數據批處理分析功能、探針評估功能
      X, Y, Z掃描驅動電壓 0~150 V
      時時測試(像素點) 4畫面(最大2,048 x 2,048)
      2畫面(最大4,096 x 4,096)
      長方形掃描 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
      分析軟件 3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
      自動控制功能 自動更換懸臂、自動激光對中
      大小?重量 340 mm(W) x 503 mm(D) x 550 mm(H)、約 34 kg
      電源 AC100 ~ 240 V ±10% 交流
      測試模式 標配:AFM、DFM、PM(相位)、FFM 選配:SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM

      * WINDOWS 是、美國 Microsoft Corporation 在美國及美國以外國家注冊商標。

      * RealTune是日立高新科學公司在日本、美國以及歐洲的注冊商標。

      選配項:SEM-AFM聯用系統

      可適用的日立SEM型號 SU8240、SU8230(H36 mm型)、SU8220(H29 mm型)
      樣品臺大小 41 mm(W) x 28 mm(D) x  16 mm (H)
      最大樣品尺寸 Φ20 mm x 7 mm
      對中精度 ±10 μm (AFM對中精度)

       

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