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        1. 上海瑞敖紳進出口有限公司

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          全自動型原子力顯微鏡 AFM5500M

          產品詳情

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          全自動型原子力顯微鏡 AFM5500M

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          產品描述
          參數

          AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,激光對中,測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察?分析。

          特點

          1. 自動化功能

          ? 高度集成自動化功能追求高效率檢測

          ? 降低檢測中的人為操作誤差

          4英寸自動馬達臺 自動更換懸臂功能

           

          2. 可靠性

          排除機械原因造成的誤差

          ? 大范圍水平掃描

          采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運動所產生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是,用軟件校正方式不能完全消除掃描器圓弧運動的影響,圖片上經常發生扭曲效果。

          AFM5500M搭載了最新研發的水平掃描器,可實現不受圓弧運動影響的準確測試。

          Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

          ? 高精角度測量

          普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時候,會發生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產生形貌誤差的直接原因。

          AFM5500M中搭載的全新掃描器,在豎直方向上不會發生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

          Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

          * 使用AFM5100N(開環控制)時

           

          3. 融合性

          親密融合其他檢測分析方式

          通過SEM-AFM的共享坐標樣品臺,可實現在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌,結構,成分,物理特性等。

          SEM-AFM在同一視野觀察實例(樣品:石墨烯/SiO2)

          The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.

          上圖是AFM5500M拍攝的形狀像(AFM像)和電位像(KFM像)分別和SEM圖像疊加的應用數據。

          ? 通過分析AFM圖像可以判斷,SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。

          ? 石墨烯層數不同導致表面電位(功函數)的反差。

          ? SEM圖像對比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。

          今后計劃與其他顯微鏡以及分析儀器的聯用。

           

          特點

          AFM5500M 主機

          馬達臺 自動精密馬達臺
          最大觀察范圍:100 mm (4英寸)全域
          馬達臺移動范圍:XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
          最小步距:XY 2 μm、Z 0.04  μm
          最大樣品尺寸 直徑:100 mm(4英寸)、厚度:20 mm
          樣品重量:2 kg
          掃描范圍 200 μm x 200 μm x 15 μm (XY:閉環控制 / Z:感應器監控)
          RMS噪音水平* 0.04 nm 以下(高分辨率模式)
          復位精度* XY: ≤15 nm(3σ、計量10  μm的標準間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計量100 nm 的標準深度)
          XY直角度 ±0.5°
          BOW* 2 nm/50 μm 以下
          檢測方式 激光檢測(低干涉光學系統)
          光學顯微鏡 放大倍率:x1 ~ x7
          視野范圍:910 μm x 650 μm ~ 130 μm x 90 μm
          顯示倍率:x465 ~ x3,255(27英寸顯示器)
          減震臺 臺式主動減震臺 500 mm(W) x 600 mm (D) x 84 mm (H)、約28 kg
          防音罩 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg
          大小?重量 400 mm(W) x 526 mm(D) x 550 mm(H)、約 90 kg

          * 參數與設備配置及放置環境相關。

          AFM5500M 專用原子力顯微鏡工作站

          OS Windows7
          RealTune?II 自動調節懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號反饋
          操作畫面 操作導航功能、多窗口顯示功能(測試/分析)、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數據批處理分析功能、探針評估功能
          X, Y, Z掃描驅動電壓 0~150 V
          時時測試(像素點) 4畫面(最大2,048 x 2,048)
          2畫面(最大4,096 x 4,096)
          長方形掃描 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
          分析軟件 3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
          自動控制功能 自動更換懸臂、自動激光對中
          大小?重量 340 mm(W) x 503 mm(D) x 550 mm(H)、約 34 kg
          電源 AC100 ~ 240 V ±10% 交流
          測試模式 標配:AFM、DFM、PM(相位)、FFM 選配:SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM

          * WINDOWS 是、美國 Microsoft Corporation 在美國及美國以外國家注冊商標。

          * RealTune是日立高新科學公司在日本、美國以及歐洲的注冊商標。

          選配項:SEM-AFM聯用系統

          可適用的日立SEM型號 SU8240、SU8230(H36 mm型)、SU8220(H29 mm型)
          樣品臺大小 41 mm(W) x 28 mm(D) x  16 mm (H)
          最大樣品尺寸 Φ20 mm x 7 mm
          對中精度 ±10 μm (AFM對中精度)

           

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